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TFT技術(shù)是二十世紀(jì)九十年代發(fā)展起來(lái)的,采用新材料和新工藝的大規(guī)模半導(dǎo)體全集成電路制造技術(shù),是液晶(LC)、無(wú)機(jī)和有機(jī)薄膜電致發(fā)光(EL和OEL)平板顯示器的基礎(chǔ)。TFT是在玻璃或塑料基板等非單晶片上(當(dāng)然也可以在晶片上)通過(guò)濺射、化學(xué)沉積工藝形成制造電路必需的各種膜,通過(guò)對(duì)膜的加工制作大規(guī)模半導(dǎo)體集成電路(LSIC)。采用非單晶基板可以大幅度地降低成本,是傳統(tǒng)大規(guī)模集成電路向大面積、多功能、低成本方向的延伸。在大面積玻璃或塑料基板上制造控制像元(LC或OLED)開關(guān)性能的TFT比在硅片上制造大規(guī)模IC的技術(shù)難度更大。對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的要求(凈化度為100級(jí)),對(duì)原材料純度的要求(電子特氣的純度為99.999985%),對(duì)生產(chǎn)設(shè)備和生產(chǎn)技術(shù)的要求都超過(guò)半導(dǎo)體大規(guī)模集成,是現(xiàn)代大生產(chǎn)的頂尖技術(shù)。其主要特點(diǎn)有:
(1)使用特性好:低壓應(yīng)用,低驅(qū)動(dòng)電壓,固體化使用安全性和可靠性提高;平板化,又輕薄,節(jié)省了大量原材料和使用空間;低功耗,它的功耗約為CRT顯示器的十分之一,反射式TFT-LCD甚至只有CRT的百分之一左右,節(jié)省了大量的能源;TFT-LCD產(chǎn)品還有規(guī)格型號(hào)、尺寸系列化,品種多樣,使用方便靈活、維修、更新、升級(jí)容易,使用壽命長(zhǎng)等許多特點(diǎn)。顯示范圍覆蓋了從1英寸至40英寸范圍內(nèi)的所有顯示器的應(yīng)用范圍以及投影大平面,是全尺寸顯示終端;顯示質(zhì)量從最簡(jiǎn)單的單色字符圖形到高分辨率,高彩色保真度,高亮度,高對(duì)比度,高響應(yīng)速度的各種規(guī)格型號(hào)的視頻顯示器;顯示方式有直視型,投影型,透視式,也有反射式。
(2)制造技術(shù)的自動(dòng)化程度高,大規(guī)模工業(yè)化生產(chǎn)特性好。TFT-LCD產(chǎn)業(yè)技術(shù)成熟,大規(guī)模生產(chǎn)的成品率達(dá)到90%以上。
(3)TFT-LCD易于集成化和更新?lián)Q代,是大規(guī)模半導(dǎo)體集成電路技術(shù)和光源技術(shù)的完美結(jié)合,繼續(xù)發(fā)展?jié)摿艽?。目前有非晶、多晶和單晶硅TFT-LCD,將來(lái)會(huì)有其它材料的TFT,既有玻璃基板的又有塑料基板。
(4)環(huán)保特性好:無(wú)輻射、無(wú)閃爍,對(duì)使用者的健康無(wú)損害。特別是TFT-LCD電子書刊的出現(xiàn),將把人類帶入無(wú)紙辦公、無(wú)紙印刷時(shí)代,引發(fā)人類學(xué)習(xí)、傳播和記栽文明方式的革命。
(5)適用范圍寬,從-20℃到+50℃的溫度范圍內(nèi)都可以正常使用,經(jīng)過(guò)溫度加固處理的TFT-LCD低溫工作溫度可達(dá)到零下80℃。既可作為移動(dòng)終端顯示,臺(tái)式終端顯示,又可以作大屏幕投影電視,是性能優(yōu)良的全尺寸視頻顯示終端。
(6)低成本:玻璃基板和塑料基板從根本上解決了大規(guī)模半導(dǎo)體集成電路的成本問題,為大規(guī)模半導(dǎo)體集成電路的應(yīng)用開拓了廣闊的應(yīng)用空間。